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●与电气信号成比例对空气压力进行无级控制●灵敏度:0.2kPa(100kPa)●线性度:±1%以内(F.S.)●迟滞:0.5%以内(F.S.)●通信:CC-Link,DeviceNet,P
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●用电气信号对流量进行无级控制●重复精度:3%以下●迟滞:10%以下